1、振動儀
振動儀主要是用于測定潔凈室地基的振動，一般靈敏度較高，量程較小，多數(shù)屬于微米級。振動儀的主要參數(shù)是振幅和頻率。
2、氣體濃度測試儀
氣體濃度測試儀是一個(gè)大類，不同的氣體有不同的測試儀器，同一種氣體也有不同的測試儀器，不同的濃度往往需要不同的測試儀器，所以只能具體問題具體分析。概括的講，氣體濃度測試方法分為兩大類：
一類是使用直讀儀器，也就是使用能直接讀出氣體濃度數(shù)值的儀器。這種儀器一般是由化學(xué)傳感器和數(shù)字顯示系統(tǒng)組成，現(xiàn)場檢測，直接讀出氣體濃度。這種儀器的特點(diǎn)是使用方便、速度快，但往往靈敏度不高，壽命較短。
另一類是采樣后用儀器分析，也就是先用采樣器采取氣體樣品，帶回實(shí)驗(yàn)室后用儀器進(jìn)行分析，獲得氣體濃度的數(shù)據(jù)。采樣的方式分為兩大類：一類是直接采取被檢測的氣體；另一類是將需要檢測的氣體吸收到用化學(xué)試劑配制的液體中，有時(shí)吸收液還要經(jīng)過一系列的化學(xué)處理，才能送入儀器中分析。此類測試方法的特點(diǎn)是操作比較麻煩，速度較慢，但一般靈敏度較高、可靠性較強(qiáng)。
3、氣溶膠發(fā)生器
氣溶膠發(fā)生器實(shí)際上是一種能向氣體中發(fā)散顆粒物的設(shè)備。潔凈行業(yè)習(xí)慣將含有顆粒物的氣體稱為氣溶膠，所以將向氣體中發(fā)散顆粒物的設(shè)備稱為氣溶膠發(fā)生器。如果發(fā)散顆粒物是標(biāo)準(zhǔn)的則稱為“標(biāo)準(zhǔn)顆粒發(fā)霧器”。能夠制造標(biāo)準(zhǔn)顆粒，并且直接將標(biāo)準(zhǔn)顆粒發(fā)散到超凈氣體中的設(shè)備稱為“標(biāo)準(zhǔn)顆粒發(fā)生器”。
4、靜電測試儀
靜電測試儀有許多種類，例如靜電電壓計(jì)、高阻電阻計(jì)、充電板監(jiān)測儀等。
5、顯微鏡
顯微鏡是檢測顆粒尺度直觀的儀器，所以標(biāo)準(zhǔn)顆粒盡量使用顯微鏡進(jìn)行標(biāo)定。顯微鏡的種類繁多，比較可靠的是光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡。
（1）光學(xué)顯微鏡
光學(xué)顯微鏡有三大類：一類是生物顯微鏡。其特點(diǎn)是光線透過樣品成像，可以理解為是透射式光學(xué)顯微鏡。主要應(yīng)用于生物、醫(yī)學(xué)行業(yè)，所以稱為生物顯微鏡。二類是金相顯微鏡，特點(diǎn)是使用樣品的反射光成像，可以理解為是反射式光學(xué)顯微鏡。主要應(yīng)用于冶金、機(jī)械行業(yè)，所以稱為金相顯微鏡。三類是巖相顯微鏡，特點(diǎn)是使用偏振光成像，可以理解為是偏振光學(xué)顯微鏡。主要應(yīng)用于巖石、礦物行業(yè)，所以稱為巖相顯微鏡。
光學(xué)顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)是：放大倍數(shù)穩(wěn)定，操作比較簡單；缺點(diǎn)是：放大倍數(shù)、分辨力都不高，不能用于測定小的顆粒。光學(xué)顯微鏡一般只能看到不小于0.5um的顆粒，能夠檢測不小于5um的直徑。對于小顆粒需要使用電子顯微鏡。
（2）電子顯微鏡
電子顯微鏡就是使用電子成像的顯微鏡。電子顯微鏡有許多種類，其中常用和比較成熟的有兩大類：透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。
1）透射電子顯微鏡。透射電子顯微鏡的成像原理類似于生物顯微鏡，只是用電子代替了可見光，用電磁透鏡代替了玻璃透鏡。透射電子顯微鏡可以將物體放大上百萬倍，可以看到小于1nm的物體，用于測量顆粒物綽綽有余。用顯微鏡測量物體的尺度，需要有長度標(biāo)準(zhǔn)器具，長度標(biāo)準(zhǔn)器具的形狀和分度需要穩(wěn)定。然而透射電子顯微鏡是使用電子透過樣品成像，電子的穿透能力很差，即使是10萬伏電壓加速的電子，也不能穿透100nm厚的物體。厚度小于100nm的物體非常柔嫩，即使是鋼鐵或礦石，也會像塑料薄膜那樣隨風(fēng)漂浮，其形狀和尺度都不穩(wěn)定。因此，直到現(xiàn)在還沒有合理合法可供透射電子顯微鏡使用的長度標(biāo)準(zhǔn)器具，所以還不具備用透射電子顯微鏡測量標(biāo)準(zhǔn)顆粒尺度的充分條件。
2）掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡有點(diǎn)像金相顯微鏡，成像電子不穿過樣品。掃描電子顯微鏡是用高能電子照射樣品，激發(fā)樣品發(fā)射二次電子，利用二次電子成像。由于二次電子的能量較小，運(yùn)動的速度較慢，不能像金相顯微鏡或透射電子顯微鏡那樣聚焦成像，只能通過逐點(diǎn)掃描，點(diǎn)點(diǎn)對應(yīng)成像。掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨力雖然沒有透射電子顯微鏡高，但是也能放大幾十萬倍，可以看到幾個(gè)納米的物體，用于測量大于10nm的顆粒物是可行的。更重要的是：掃描電子顯微鏡可以觀察很厚的樣品，容易制造長度標(biāo)準(zhǔn)器具。已有合理合法的供掃描電子顯微鏡使用的長度標(biāo)準(zhǔn)器具。